济源焊料贴合室净化车间-晴朗净化车间工程

洁净系统方案：系统流程：新风经过滤后与回风混合，进入风冷空调机，通过中效过滤器，经末端低阻力高效过滤器后将符合温湿度、洁净度要求的空气送入洁净室。气流组织：1万级间全部采用上送两侧回风，车间内利用柱位、侧墙做技术夹层回风道，接回风管道至空气处理机组。空气经粗、中高三级过滤器和温湿度处理后送入净房。新风系统进行组、中、二级过滤，以确保空气的含尘浓度较低，减少外部尘源影响，提高洁净室的净化效果，并大大延长高效过滤器的使用寿命，减少运行维护费用。新风量根据人员卫生新风要求(每人新风量＞35m3/h)，并保证洁净室内正压的要求经计算确定。(人员在20人以内)。系统排风：有设备排风及工艺要求的房间排风，此系统由甲方确定方案。

和其他产业不同，济源焊料贴合室净化车间，集成电路产业链几乎所有环节都需要在洁净室内完成，焊料贴合室净化车间设计，从单晶硅片制造，到IC制造的几乎所有环节，到IC封装都需要在洁净室中完成，且对于洁净度的要求非常高。如，14纳米工艺中7纳米的微粒就会影响制造过程。集成电路制造过程需要的洁净程度越来越高，对于洁净室工程的技术提出越来越高的要求。洁净室工程是集成电路制造环节中重要的一环，直接决定了终产品的成败。

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